FFU（風機過濾單元）
應用于12英寸半導體濕法制程設備，可定制化
①抗腐蝕結構設計
②過濾器材料： 100%PTFE
③去除效率： 99.99995%@[email protected] ?
④風量面內均一性<15%
⑤主設備交互通信，主動控制+被動控制
盛奕科技憑借先進的自主研發技術和豐富的產品線，已發展成為具有一定
競爭力的半導體領域專用設備及核心部件供應商。
①抗腐蝕結構設計
②過濾器材料： 100%PTFE
③去除效率： 99.99995%@[email protected] ?
④風量面內均一性<15%
⑤主設備交互通信，主動控制+被動控制
①抗腐蝕結構設計
②過濾器材料： 增強性活性炭、離子交換樹脂
③去除效率：初期＞90%
④使用壽命長：12個月
⑤功能可集成，同時去除酸堿有機氣體
①轉子運行無任何接觸、無磨損，無顆粒產生
②微型化、集成度高
③抗腐蝕結構設計,可輸送酸、堿、有機藥液
④耐高溫（90℃）、使用壽命長
⑤流量大、轉速高
產品型號：SHM-075
轉速0~9000rpm，最大流量75L/min
產品型號：SHM-140
最大轉速0~8000rpm，最大流量140L/min