M-CDU（磁懸浮泵藥液傳輸單元）
應用于半導體設備中高純度藥液傳輸單元
①微型化，集成度高
②占地面積（71.1L*44.4W*43.0H,單位：cm）
③穩定，恒定壓力，響應速度快
④磁懸浮泵供液、流量大、潔凈度高
⑤全機臺防腐蝕化設計，可輸送酸、堿、有機藥液
盛奕科技憑借先進的自主研發技術和豐富的產品線，已發展成為具有一定
競爭力的半導體領域專用設備及核心部件供應商。
①微型化，集成度高
②占地面積（71.1L*44.4W*43.0H,單位：cm）
③穩定，恒定壓力，響應速度快
④磁懸浮泵供液、流量大、潔凈度高
⑤全機臺防腐蝕化設計，可輸送酸、堿、有機藥液
①尾氣去除效率>95%
②占地面積（280L*120W*230H，單位：cm）
③穩定的風量控制（波動<3%）
④定制化排水模式，環保節水
⑤機臺全局防腐蝕化設計
①主動增壓，彌補廠務能力不足，適合復雜管路改造
②占地面積（151L*111W*178.5H，單位：cm）
③需求壓力設定值±3%以內的閉環壓力實時控制
④定制化服務，滿足4~18腔設備定制
⑤機臺全局防腐蝕化設計
①抗腐蝕結構設計
②體積小，集成度高（36.5L*33W*27H，單位：cm）
③寬流量范圍：5~40LPM
④低比阻抗效果：0.08~2MΩ·cm