為主設備輸送藥液,可實現壓力-流量閉環精準控制
①轉子運行無任何接觸、無磨損,無顆粒產生
②微型化、集成度高
③抗腐蝕結構設計,可輸送酸、堿、有機藥液
④耐高溫(90℃)、使用壽命長
⑤流量大、轉速高
產品型號:SHM-075
轉速0~9000rpm,最大流量75L/min
產品型號:SHM-140
最大轉速0~8000rpm,最大流量140L/min
目前該產品已成熟應用于多種設備,如濕法清洗單片機、濕法槽式清洗機、化學機械研磨液供給裝置、電鍍設備、化學藥液供液裝置、化鍍設備等。
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