為半導體生產使用的超純水,添加二氧化碳氣體,降低純水電導率
①抗腐蝕結構設計
②體積小,集成度高(36.5L*33W*27H,單位:cm)
③寬流量范圍:5~40LPM
④低比阻抗效果:0.08~2MΩ·cm
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