為主設備提供額外風量和壓力,對單chamber壓力精準控制
①主動增壓,彌補廠務能力不足,適合復雜管路改造
②占地面積(151L*111W*178.5H,單位:cm)
③需求壓力設定值±3%以內的閉環壓力實時控制
④定制化服務,滿足4~18腔設備定制
⑤機臺全局防腐蝕化設計
這里也可以聯系: