M-CDU（磁懸浮泵藥液傳輸單元）
一家集研發、制造、銷售于一體的高端制造企業
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專注于半導體附屬設備及核心零部件
盛奕半導體科技（無錫）有限公司(簡稱“盛奕科技”)堅持以技術創新為核心，以半導體附屬設備及零部件的研發和產業化為目標，以差異化競爭和創新的發展戰略為方向，是一家集研發、制造、銷售于一體的高端制造企業。
盛奕科技憑借先進的自主研發技術和豐富的產品線，已發展成為具有一定競爭力的半導體領域專用設備及核心部件供應商，公司產品已經進入到國內90%以上的12英寸半導體終端用戶，并建立了長久穩定的合作關系，得到了客戶的認可，并取得良好的市場口...
①微型化，集成度高
②占地面積（71.1L*44.4W*43.0H,單位：cm）
③穩定，恒定壓力，響應速度快
④磁懸浮泵供液、流量大、潔凈度高
⑤全機臺防腐蝕化設計，可輸送酸、堿、有機藥液
①尾氣去除效率>95%
②占地面積（280L*120W*230H，單位：cm）
③穩定的風量控制（波動<3%）
④定制化排水模式，環保節水
⑤機臺全局防腐蝕化設計
①主動增壓，彌補廠務能力不足，適合復雜管路改造
②占地面積（151L*111W*178.5H，單位：cm）
③需求壓力設定值±3%以內的閉環壓力實時控制
④定制化服務，滿足4~18腔設備定制
⑤機臺全局防腐蝕化設計
①抗腐蝕結構設計
②過濾器材料： 100%PTFE
③去除效率： 99.99995%@[email protected] ?
④風量面內均一性<15%
⑤主設備交互通信，主動控制+被動控制
①抗腐蝕結構設計
②過濾器材料： 增強性活性炭、離子交換樹脂
③去除效率：初期＞90%
④使用壽命長：12個月
⑤功能可集成，同時去除酸堿有機氣體
①轉子運行無任何接觸、無磨損，無顆粒產生
②微型化、集成度高
③抗腐蝕結構設計,可輸送酸、堿、有機藥液
④耐高溫（90℃）、使用壽命長
⑤流量大、轉速高
產品型號：SHM-075
轉速0~9000rpm，最大流量75L/min
產品型號：SHM-140
最大轉速0~8000rpm，最大流量140L/min
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